七轴LDI曝光机，全部采用无铁芯直线电机，直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小），同时配备非接触式高精度光栅尺，具备****的动态性能、 定位精度和重复定位精度，七轴 LDI 曝光机选用高精度光栅位置反馈，全行程重复性小于 ±1.5um，定位精度小于 ±2.5 um，一般与高精度升降轴（Z 轴）配合工作等结构特点。主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD 显示、 LCD 显示、线路板生产、PCB 产品等要求高精度和高效率工业项目中。