高性能直驱气浮平台，高动态性能，采用空气环绕型预载，非接触设计，为高性能扫描和检测应用量身设计，纳米级定位精度的气浮平台，直线电机驱动，可作单轴使用，或与其它轴组成多轴系统，非常适合重负载的应用等产品特点。利用空气弹性势能作为支撑导轨，实现滑轨，与滑台零摩擦，**的动态性能和定位精度，气浮平台正负压设计，大体积负载在气浮导轨上重力不均匀分布的应用，可以更好的保证空气导轨的正常气隙等结构特点。适用于大型光学透镜检测 、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装等行业。