高精度直线导轨，伺服电机驱动，光栅闭环反馈，高可靠性驱动机构，带断电抱闸功能，防止重物掉落，使用寿命长等产品特点。采用楔形平升机构，直接移动负载，在一个长行程的移动范围，保持尽可能短的高度，优化了系统误差影响，有助于提高整体精度性能等结构特点。适用于半导体领域的缺陷检测，光学透镜检测和精密加工等，为其提供 Z 向精密定位。