纳米级定位精度，直线电机驱动，采用交叉滚柱导轨，具备****的动态性能和定位精度，空载截止频率*大可达 100Hz 以上，分辨率 1nm，重复定位精度 ±100nm，定位精度 ±250nm等产品特点。双气缸配重，高动态性能（截止频率大于 100Hz），交叉滚柱导轨，灵活的配置选项（可定制不同行程），在位稳定性 3nm（配置线性驱动器，带隔振实验室环境）等结构特点。适用于通讯领域的光纤耦合、半导体领域的圆晶缺陷检测、生物医疗领域的基因测序以及激光微纳加工等行业。