开放式结构，XY 一体式设计直驱平台，底轴双电机驱动，动态性能出色，更好的几何性能和更高的承载能力，兼顾大行程、高精度、重负载、低侧向高度等产品特点。低侧面高度，阿贝误差小，平台结构紧凑，有较强的驱动能力，下轴采用双电机驱动，上下轴空载*大速度均可达到 2000mm/s，空载加速度可达 2g 电子分辨率 1nm，*小步进小于 20nm等结构特点。适用于测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目。